微电子机械微波通讯信号检测集成系统 科学出版社 下载 pdf 百度网盘 epub 免费 2025 电子书 mobi 在线

《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》共分为12章，从靠前章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器，第3章的间接加热热电式功率传感器，第4章的直接加热热电式功率传感器，第5章的电容式功率传感器，第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统，第7章的在线电容耦合式微波功率检测器，第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器，第9章微波相位检测器和靠前0章微波频率检测器，靠前1章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究；很后，靠前2章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术，因此，《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。

《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》所涵盖的学术成果在本专业靠前上的重要学术期刊，以及靠前重要学术会议上已发表，同时，书中所提出的结构新颖，创新性突出，已获得中华人民共和国国家发明专利授权，应用价值高。《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》适合高校电子、通讯和仪器专业的研究生和本科生作为教材和参考书，同时，也可作为相关专业的科研人员和工程技术人员的参考书。

第1章设计理论和实现方法

1.1共面波导的设计理论和实现方法

1.2模型的建立方法

1.2.1微波集总模型

1.2.2微波-热-电转换模型

1.2.3微波-力-电转换模型

1.3与Ga.AsMMIC兼容的：MEMS工艺

1.4微波、热电势和力的测试平台

1.5系统级s参数模型

1.6MEMS集成的微波功率检测器在微波接收机前端的应用

1.7MEMS集成的微波相位检测器在锁相环中的应用

1.8MEMS集成的微波频率检测器在微波接收检测中的应用

1.9小结

参考文献

第2章微波功率分配器

2.1引言

2.2微波功率分配器的模拟和设计

2.3微波功率分配器的性能测试

2.4微波功率分配器的系统级s参数模型

2.5小结

参考文献

第3章MEMS间接加热热电式微波功率传感器

3.1引言

3.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器

3.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计

3.2.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试

3.2.3MEMS间接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型

3.3频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器

3.3.1频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计

3.3.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试

3.4无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器

3.4.1无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计

3.4.2无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试

3.5三通道型MEMs间接加热热电式微波功率传感器

3.5.1三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计

3.5.2三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试

3.6小结

参考文献

第4章MEMs直接加热热电式微波功率传感器

4.1引言

4.2MEMS直接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计

4.2.1结构和原理

4.2.2模拟和设计

4.3MEMS直接加热热电式微波功率传感器的测试

4.3.1微波性能的测试

4.3.2灵敏度的测试

4.3.3响应时间的测试

4.4MEMS直接加热热电式微波功率传感器的系统级s参数模型

4.4.1系统级S参数模型的建立

4.4.2微波频率、隔直电容和热电堆的电阻对模型的影响

4.5小结

参考文献

第5章MEMS电容式微波功率传感器

5.1引言

5.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器

5.2.1MEMS固支梁电容式微波功率传感器的模拟和设计

5.2.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器的性能测试

5.3MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器

5.3.1MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的模拟和设计

5.3.2MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的性能测试

5.4MEMS电容式微波功率传感器的系统级s参数模型

5.5小结

参考文献

第6章MEMS级联微波功率传感器

6.1引言

6.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器

6.2.1MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计

6.2.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的性能测试

6.2.3MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型

6.3MEMs在线式和热电式级联微波功率传感器

6.3.1MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计

6.3.2MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的性能测试

6.3.3MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型

6.4小结

参考文献

第7章MEMs在线电容耦合式微波功率检测器

7.1引言

7.2MEMs在线电容耦合式微波功率检测器的模拟和设计

7.2.1结构和原理

7.2.2模拟和优化

7.3MEMs在线电容耦合式微波功率检测器的测试

7.3.1具有阻抗匹配和开路传输线补偿电容结构

7.3.2具有阻抗匹配、开路传输线补偿电容和状态转换开关结构

7.4MEMs在线电容耦合式微波功率检测器的系统级s参数模型

7.4.1考虑损耗和相移的微波集总模型的建立

7.4.2MEMS膜对微波信号幅度和相位的影响

7.4.3实验验证和误差讨论

7.5小结

参考文献

第8章MEMs在线定向耦合式毫米波功率检测器

8.1引言

8.2MEMs在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟和设计

8.2.1结构和原理

8.2.2基于MEMS技术CPW定向耦合器的设计

8.2.3MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟

8.3M：EMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的测试

8.3.1毫米波性能的测试

8.3.2电容式传感器的灵敏度测试

8.3.3热电式传感器的灵敏度测试

8.4MEMs在线定向耦合式毫米波功率检测器的系统级S参数模型

8.5小结

参考文献

第9章MEMs微波相位检测器

9.1引言

9.2单端口MEMs微波相位检测器

9.2.1单端MEMS微波相位检测器的模拟和设计

9.2.2单端MEMS微波相位检测器的性能测试

9.2.3单端DMEMS微波相位检测器的系统级S参数模型

9.3双端口对称式MEMS微波相位检测器

9.3.1双端口对称式MEMS微波相位检测器的模拟和设计

9.3.2双端口对称式MEMS微波相位检测器的性能测试

9.3.3双端口对称式MEMS微波相位检测器的系统级S参数模型

9.4小结

参考文献

第10章MEMs微波频率检测器

10.1引言

10.2一分二式MEMs微波频率检测器

10.2.1一分二式MEMS微波频率检测器的模拟和设计

10.2.2一分二式MEMS微波频率检测器的性能测试

10.2.3一分二式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型

10.3一分三式MEMS微波频率检测器

10.3.1一分三式MEMS微波频率检测器的模拟和设计

10.3.2一分三式MEMS微波频率检测器的性能测试

10.3.3一分三式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型

10.4MEMS在线式微波频率检测器

10.4.1MEMS在线式微波频率检测器的模拟和设计

10.4.2MEMS在线式微波频率检测器的性能测试

10.4.3MEMS在线式微波频率检测器的改进结构

10.5小结

参考文献

第11章MEMs封装

11.1引言

11.2MEMS微波功率传感器的封装研究

11.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的封装与测试

11.2.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器封装与测试

11.3MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的封装研究

11.4MEMS微波相位检测器的封装研究

11.5MEMS微波频率检测器的封装研究

11.6小结

参考文献

第12章总结和展望

12.1总结

12.2展望

参考文献

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